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重生,我在八十年代投机倒把 第274节 (第6/6页)
跟前说起你。” 江小溪顿时不好意思起来,当时来的人太多,江小溪确实记不清了。 好在方主任并没哟在意,反而因为这层关系对江小溪十分亲切。 也正是因为对基金会有了解,所以知道江小溪的资产,所以他才起了和江小溪一起开展另外研究课题。 双方寒暄几句,方主任就直接进入了正题,提出了一个让江小溪惊讶的课题——arf光刻胶研究。 光刻胶,是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。 光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业。 光刻胶为光刻机的一项重要材料,而光刻机被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”。 第512章 研究经费 对于光刻胶的发展,目前可以分为四个阶段,ktfr光刻胶、g线/i线光刻胶、krf光刻胶以及arf光刻胶。 arf光刻胶是世界最新的光刻胶技术,它继承了krf光刻胶的基础,也属于化学放大光刻胶。 半导体工艺开发联imec正式将arf光刻胶用作两千年下一代半导体0.13μm工艺的抗蚀剂。 只是相对于世界前沿的光刻胶技术,华夏的光刻胶发展简直称得上可怜。 华夏光刻胶的研究始于六七十年代,六七年的时候,华夏kpr型负性光刻胶就已经投产。 七零年,103b型、106型两种负胶投产,环化橡胶系负胶bn-302、bn-303也相继开发成功。 当时华夏的技术虽然比不上美国,但与日本研究时间相同,技术水平也相差无几。 只是之后因为种种原因,差距越来越大。
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